Прибор ионно-лучевого травления ИЛТ-050

Прибор ионно-лучевого травления ИЛТ-050
Наличие:
Уточнить у менеджера
Цена:
по запросу

Прибор ионно-лучевого травления ИЛТ-050 представляет собой приставку к вакуумному универсальному посту ВУП-5М (ВУП-5).

Приставка ИЛТ-050 предназначена для осуществления операций, связанных с распылением и травлением материалов в вакууме ионным пучком с целью исследования полученных поверхностей и материалов (методами растровой и просвечивающей электронной микроскопии и другими).

Приставка может быть использована в лабораториях при исследованиях по физике твердого тела, микроэлектронике для получения новых материалов, а также применима при выполнении отдельных технологических операций.

Приставка предназначена для эксплуатации в стационарных условиях при температуре окружающего воздуха от 15 до 25 С и относительной влажности не более 80 %.

Приставка относится к исполнению УХЛ категории 4.2 по ГОСТ 15180-69.

Конструктивные особенности

  • Диапазон рабочего давления в объеме при работе приставки от 6,0 10-5 до 8 10-4 мм. рт. ст.
  • Электрическое питание приставки осуществляется от сети переменного тока напряжением 220 В частотой 50 Гц.
  • Потребляемая мощность не более 600 Вт.
  • Масса 60 кг.
Технические характеристики

 

Габаритные размеры, мм, не более:

 

рабочий объем

внутренний диаметр
высота
высота с установленным источником (сверху)

230
250
500

модуль источников питания

длина
ширина
высота

500
520
180

  • Внутренний объем высоковакуумного объема приставки 12 л.
  • Максимальное напряжение на выходе высоковольтного блока питания анода не более 8 кВ.
  • Максимальное напряжение на выходе высоковольтного блока питания, фокусирующего не более 8 кВ.
  • Напряжение блока питания разряда не менее 800В.
  • Разрядный ток ионных пушек (50 ± 3) мА.
  • Ионный ток на образце от 30 до 600 мкА.

Похожия продукция

График доставки