Приставка магнетронного распыления ПМР-3

Приставка магнетронного распыления ПМР-3
Наличие:
Уточнить у менеджера
Цена:
по запросу

Приставка магнетронного распыления ПМР-3 служит для модернизации более старой модели ВУП-5.

Магнитораспыляющая система обеспечивает:

  • универсальность процесса, что позволяет получить пленки металлов, сплавов и полупроводников;
  • высокую скорость осаждения с возможностью ее регулирования в широких пределах;
  • сохранение соотношения компонентов при распылении вещества сложного состава;
  • получение особо чистых пленок;
  • высокую адгезию пленок и подложки;
  • возможность изменения структуры и свойств пленок;
  • распыление нескольких материалов без разгерметизации объема;
  • низкую пористость пленок даже при малых толщинах;
  • небольшое тепловое воздействие на обрабатываемую структуру;
  • высокую энергетическую эффективность процесса;
  • использование для осаждения и травления широкого класса материалов.

В состав приставки магнетронного распыления ВН 2000 входит:

  • магнетрон, диаметр мишени 80мм, устанавливается на фланце, в верхней части рабочего колпака;
  • блок питания (1 А, 900 В), устанавливается сверху пульта вакуумного универсального поста.
Технические характеристики

Габаритные размеры магнетрона:

диаметр

180 мм

высота

80 мм

Габаритные размеры блока питания:

длина

465 мм

ширина

540 мм

высота

220 мм

Требуется изготовление нового рабочего колпака с размещенным сверху фланцем Dy 170 для установки магнетрона. Напыление осуществляется сверху вниз.

Похожия продукция

График доставки