Растровый микроскоп РЭМ-106

Растровый микроскоп РЭМ-106
Наличие:
Уточнить у менеджера
Цена:
по запросу

Растровый микроскоп РЭМ-106 предназначен для исследований в материаловедении, нанотехнологиях, физике, химии, геологии, микроэлектронике, биологии, медицине и др. областях с гарантированными метрологическими параметрами измерений линейных размеров субмикронного диапазона и массовой доли элементов в составе исследуемых объектов.

Конструктивные особенности

  • быстрое, с гарантированной точностью, измерение линейных размеров объектов;
  • определение элементного состава объектов методом рентгеновского микроанализа с гарантированной точностью;
  • высокое качество электронно-оптических изображений поверхности проводящих и диэлектрических объектов без специального приготовления в режимах вторичных (ВЭ) и отраженных электронов (ОЭ);
  • набор тестовых образцов для калибровки и поверки метрологических параметров, электронно-оптического увеличения, разрешающей способности в режиме ВЭ и ОЭ, калибровки и поверки системы микроанализа; набор эталонов для количественного микроанализа;
  • конструкция вакуумной системы, обеспечивающая два рабочих режима в камере объектов: высоковакуумный (классический РЭМ) и низковакуумный регулируемый – для исследования диэлектрических объектов;
  • электронно-оптическая система с повышенной защищенностью от внешних электромагнитных полей;
  • высокая виброустойчивость;
  • объективная линза с разделительными диафрагмами для дифференциальной откачки камеры объектов и электронной пушки;
  • управление вакуумной, электронно-оптической, энерго-дисперсионной системами прибора и механизмом перемещения объектов, а также визуализацию и хранение изображений и результатов микроанализа обеспечивается персональным компьютером;
  • документирование изображений и спектров высокоразрешающим принтером;
  • отображение информации о состоянии прибора на дисплее компьютера.
Технические характеристики

Разрешение в режиме высокого вакуума (ВЭ), нм

4

Разрешение в режиме низкого вакуума (ОЭ), нм

6

Максимальный размер изображения, пикс

1280 960

Диапазон регулирования давления в камере, Па

1 - 270

Диапазон ускоряющих напряжений, кВ

0,5 - 30

Диапазон регулирования увеличений, х

15 - 300000

Максимальный размер объекта, мм

50

Диапазон перемещений объекта:

 

по координатам X, Y, мм

±25

по координате Z, мм

50

наклон,°

-20 до 60

поворот, °

360

Время смены образца, мин

5

Диапазон измерений линейных размеров, µm

0,2 - 5000

Пределы допускаемой основной погрешности измерений линейных размеров, не более:

 

в диапазоне от 0,2 µm до 0,8 µm, нм

±40

в диапазоне свыше 0,8 µm до 5000 µm, %

±4

Диапазон анализируемых элементов:

 

в режиме высокого вакуума

5B - 92U

в режиме низкого вакуума

12Mg - 92U

Разрешение ЭДС, eV

139

Пределы допускаемой относительной погрешности измерений массовой доли элемента в диапазоне от 6С до 92U

 

в составе массивных образцов, не более:

 

для элементов с диапазоном массовой доли свыше 10 %, %

±4

для элементов с диапазоном массовой доли свыше 1 % до 10 %, %

±20

для элементов с диапазоном массовой доли от 0,1 % до 1 %, %

±50

Напряжение питания (1 фаза), В

220

частота, ГЦ

50/60

Потребляемая мощность, кВА

2,5

Габаритные размеры (колонна со стендом), мм

1050х2100х1850

Масса, кг

685

Похожия продукция

График доставки