Микроскоп-микроанализатор РЭММА-2000

Микроскоп-микроанализатор РЭММА-2000
Наличие:
Уточнить у менеджера
Цена:
по запросу

Микроскоп-микроанализатор РЭММА-2000 предназначен для решения широкого круга проблем в таких областях науки и техники как материаловедение, электроника, геология, медицина и др.

Высокие технические характеристики в растровом режиме и режиме микроанализа позволяют быстро и качественно исследовать топографию поверхности твердого тела с одновременным определением качественного и количественного элементного состава методом рентгеноспектрального анализа.

Рентгеноспектральный анализ не имеет себе равных по локальности (1 ч), чувствительности (10 - 100 ppm) и скорости проведения среди неразрушающих методов анализа для массивных и тонкопленочных образцов.

Прогнозирование прочностных и эксплуатационных характеристик металлов и сплавов, определение связи между свойствами вещества и особенностями его состава, изучение кристаллической структуры, различных дефектов не только в металлах, но и биологических объектах. Вот неполный круг задач решаемых с помощью микроанализаторов.

Электронный микроскоп РЭММА-2000 объединяет функции растрового электронного микроскопа высокого разрешения и рентгеновского микроанализатора и используется для исследования топографии поверхности различных объектов в твёрдой фазе и проведения рентгеноспектрального анализа элементного состава вещества по длинам волн и энергиям квантов характеристического рентгеновского излучения.

Область применения

Область применения микроскопа: микроэлектроника и полупроводниковая техника, машиностроение и материаловедение, химия, геология, биология, медицина и др.

Конструктивные особенности

Растровый электронный микроскоп-микроанализатор РЭММА-2000 состоит из следующих блоков и систем:

  • электронно-оптическая и вакуумная системы,
  • видеоконтрольное устройство (ВКУ),
  • система рентгеновского микроанализа,
  • контрольные образцы.

Электронно-оптическая система - это:

  • электронная пушка c катодом из гексаборида лантана (LaB6) или вольфрамовым катодом с электромагнитной и механической юстировкой;
  • двухлинзовая конденсорная система с магнитными шунтами для юстировки;
  • привод для быстрой смены и установки на электронно-оптическую ось апертурной диафрагмы;
  • двухщелевая объективная линза с низким коэффициентом аберрации. Коническая форма магнитопровода обеспечивает совмещение прецизионного растрового режима работы на рабочем отрезке 25 мм с микроанализом под углом выхода рентгеновского излучения 40o без нарушения башмака линзы;
  • двухъярусная растровая отклоняющая система, восьмиполюсный стигматор, катушка динамической фокусировки, катушка электромагнитного перемещения растра;
  • шлюзовое устройство для быстрой смены катодов без нарушения вакуума в камере образцов;
  • большая камера образцов (296 360 273) мм3 с портами для детектора вторичных электронов, двух спектрометров волновой дисперсии, спектрометра энергетической дисперсии, шлюзового устройства, механизма перемещения объектов;
  • устройство шлюзования образцов диаметром до 100 мм и высотой 18 мм;
  • программно-управляемый механизм перемещения объектов.

Вакуумная система:

  • два диффузионных насоса с водяным охлаждением производительностью 700 л/сек и 340 л/сек и два форнасоса пластинчато-роторного типа производительностью 5 л/сек обеспечивают рабочий вакуум в пушке и камере образцов;
  • азотные ловушки на входе диффузионных насосов для уменьшения загрязнения образца;
  • азотная ловушка в районе пушки для продления жизни катода;
  • вакуумный демпфер позволяет отключать форнасос и тем самым уменьшать вибрации в режиме наблюдения и регистрации изображений высокого разрешения;
  • выносной пульт ручного управления вакуумной системой;
  • съёмные заглушки разделения вакуумного объёма камеры образцов и спектрометров волновой дисперсии с прозрачными окошками для выхода рентгеновского излучения.

Видеоконтрольное устройство (ВКУ). ВКУ разработано на основе цифровой техники и выполняет:

  • оцифровывание сигнала с детекторов и накопление в ОЗУ в режиме поточечного накопления;
  • медленное накопление и вывод на экран видеомонитора изображений в телевизионном стандарте, что не требует специального затемнения помещения при их визуальном наблюдении;
  • вывод на экран монитора информации о режиме работы микроскопа
  • цифровые развертки электронного луча на образце и на экране видеомонитора;
  • цифровые порты входа - выхода;
  • доступ ЭВМ к буферному ОЗУ с хранящейся там информацией, обеспечивающей дополнительную обработку видеосигнала (цифровая фильтрация, запись на жесткий диск и вывод кадра изображения на экран монитора ЭВМ);
  • распечатку кадра изображения на принтере;
  • компенсация увеличения и вращения изображения при изменении ускоряющего напряжения и рабочего расстояния.

Программное обеспечение

В комплект прибора РЭММА-2000 входят следующие программы управления и обрабатывания информации:

  • программа управления видеоконтрольным устройством;
  • программа качественного микроанализа спектрометрами WD;
  • программа качественного микроанализа спектрометром ED;
  • программа количественного микроанализа спектрометрами WD массивных полированных образцов;
  • программа количественного микроанализа спектрометром ED массивных полированных образцов;
  • программы распределения по профилю и площади спектрометрами WD и ED;
  • программы документирования рентгеновских спектров и кадров изображения с помощью принтера;
  • комплект тестовых программ.

Управление прибором, сбор, обработка, визуализация и хранение информации осуществляется персональным компьютером.

Контрольные образцы

РЭММА-2000 комплектуется следующими контрольными образцами для тестирования работы прибора в режимах вторичных электронов, отражённых электронов и рентгеновского микроанализа:

  • набором тестовых образцов для калибровки увеличения электронно-оптического изображения;
  • тестовыми образцами для разрешения во вторичных и отражённых электронах;
  • набором тестовых образцов для калибровки шкалы энергий спектрометров ED и WD, тестирования режима количественного микроанализа;

В комплект прибора входит универсальный держатель на 45 эталонов для проведения количественного микроанализа.

  • Разрешающая способность в режиме ВЭ, нм, не более 5,0
  • Диапазон изменения увеличения, крат 10 - 300000
  • Диапазон изменения ускоряющих напряжений, кВ 0,2 - 40 регулировка от 0,2 до 5,0кВ через 50В, от 5 до 40кВ через 1кВ
  • Относительная нестабильность ускоряющего напряжения за 10 мин, измеренная при 20кВ, не более 1 10-5
  • Диапазон анализируемых элементов спектрометрами волновой дисперсии от бериллия(4) до урана(92)
  • Приведенная интенсивность и контрастность аналитических линий на контрольном образце при проведении анализа кристалл-дифракционными спектрометрами не менее значений, указанных в таблице.

Образец

Элемент

Спектр. линия

Пор. отр.

Кристалл-анализ.

Ускор. напр., кВ

Прив. интенс. имп/с мА

Контрастность

C

C

Ka

1

PbSt

10

2.5 104

30

Al

Al

Ka

1

RAP

20

8 105

600

Ti

Ti

Ka

1

PET

30

2.8 106

600

Fe

Fe

Ka

1

LiF

30

8 105

300

SiO2

O

Ka

1

MIR-030

10

5.5 104

30

BN

N

Ka

1

MIR-040

10

1.1 104

10

C

C

Ka

1

MIR-060

10

4.2 105

40

B13C2

B

Ka

1

MIR-090

10

6.1 104

30

Be

Be

Ka

1

MIR-090

10

1.0 104

30

  • Разрешающая способность кристалл-дифракционного спектрометра на линии Cu Ka, не более 5,5 10-3
  • Разрешающая способность системы энергодисперсионного рентгеновского микроанализа на линии Mn Ka, эВ, не более 143
  • Диапазон анализируемых элементов спектрометром энергетической дисперсии от бора(5) до урана(92)
  • Давление в колонне микроскопа, мПа, не более 1,33
  • Время откачки микроскопа от атмосферного давления до давления 6,7мПа, мин., не более 30
  • Время шлюзования объекта, мин, не более 5

Функциональные возможности и режимы работы ВКУ:

  • развертка электронного зонда по большому и малому полям, с возможностью установки зонда в отмеченную маркером на изображении точку;
  • вращение и электронное перемещение растра;
  • деление экрана;
  • отображение символьной информации об ускоряющем напряжении, увеличении, масштабной метке и ее длине, рабочем отрезке;
  • электронная индикация линейных размеров объектов;
  • обработка изображения дифференцированием, -коррекцией.
  • Сохранение увеличения изображения: при изменении ускоряющего напряжения от 5 до 30 кВ; при изменении рабочего расстояния от 8 до 50 мм.

Универсальный механизм перемещения объектов обеспечивает:

  • установку образца максимальным диаметром не менее 100 мм;
  • перемещение образца по координатам X, Y на ± 50мм с шагом не более 0,5 мкм;
  • перемещение по координате Z на 40 мм с шагом не более 2 мкм;
  • вращение образца на 360o;
  • наклон платформы от минус 20o до 48o;
  • точность позиционирования по координатам X, Y ± 1 мкм.
  • Требования к электропитанию: трехфазное напряжение (200 ± 22) В; частота питающей сети (50 ± 1) Гц;
  • Потребляемая мощность, кВА, не более 3,5
  • Габаритные размеры, мм, не более: каркас с колонной и вакуумной системой 970 770 1735; устройство видеоконтрольное 800 1400 780; блок питания 500 560 750; система откачки (форнасос) 555 170 290
  • Общая масса микроскопа, кг, не более 1300

Параметры систем для эксплуатации микроскопа:

  • индивидуальный контур заземления с сопротивлением, Ом, не более 4;
  • расход воды, л/мин, 3,5; давление воды в сети, кг/см2, 3-5
  • температура воды, oС 20 ± 5
  • число штуцеров для подвода воды 2
  • число штуцеров для слива воды 2
  • число штуцеров для выхлопа воздуха с форнасосов 2

    Требования к помещению для установки микроскопа:

  • площадь помещения, м2, не менее 20
  • температура воздуха в помещении, °С, 20 ± 5
  • относительная влажность, %, 50 - 80
  • уровень электромагнитного поля в диапазоне частот 50-400 Гц на расстоянии 5 см от колонны, мкТ, не более 0,3
  • уровень вибраций пола в диапазоне частот 5-20 Гц, мкм, не более 5
  • ширина входной двери, мм, не менее 1200

Похожия продукция

График доставки