Вакуумный пост ВН-3000

Вакуумный пост ВН-3000
Наличие:
Уточнить у менеджера
Цена:
по запросу

Вакуумный пост ВН-3000 предназначен для исследовательских работ по распылению металлов, полупроводников и диэлектриков с помощью магнетрона RF и DC, электронно-лучевого испарителя, термического испарения и ионного травления.

Область применения

Приборы электронной техники, материаловедения, микроэлектроника, физика и другие отрасли, а также отработка отдельных технологических операций по напылению.

Конструктивные особенности

Установка выполнена в виде двух стоек – электрической и аналитической. Стойки располагаются рядом и соединяются между собой питающими, силовыми и сигнальными жгутами.

В электрической стойке расположены: - блок распределительный;

  • блок питания высоковольтный;
  • блок питания магнетрона RF;
  • блок питания магнетрона DC;
  • блок управления;
  • блок питания турбомолекулярного насоса; - ноутбук.

В аналитической стойке расположены:

  • вакуумная система;
  • рабочий объем;
  • внутри камерная оснастка;
  • турбомолекулярный насос;
  • система напуска газа в рабочий объем;
  • система водяного охлаждения насоса, магнетрона, ЭЛИ.

Вакуумная система работает в автоматическом режиме и позволяет получить вакуум в закрытом рабочем объеме без вмешательства оператора.

В рабочий объем устанавливаются следующие устройства:

  • механизм поворота;
  • осветитель;
  • устройство ионного травления/очистки (анод);
  • устройство осаждения и нагрева;
  • электронно-лучевой испаритель;
  • магнетрон RF (максимальное количество магнетронов – до 6 шт).

Возможно доукомплектование установки кварцевым измерителем толщины КИТ.

Технические характеристики

Установка обеспечивает предельное остаточное давление в рабочем объеме, не более, Па

2х10^-3

Нагреватель в устройстве осаждения и нагрева обеспечивает температуру в районе подложки, не менее, °C

300

Время нагрева до температуры 300 °С, не более, мин

30

Устройство осаждения и нагрева обеспечивает частоту вращения подложки, об/мин

5-15

Напряжение на выходе блока питания высоковольтного (без нагрузки), кВ

0-4

Максимальный ток пучка, мА

200

Максимальный ток блока питания накала катода, А

20

Мощность блока питания магнетрона RF, Вт

0-500

Максимальное напряжение блока питания магнетрона DC (без нагрузки), кВ

1,2

Ток блока питания магнетрона DC, мА

0-1000

Максимальный ток устройства ионного травления/очистки, мА

100

Установка обеспечивает откачку рабочего объема от атмосферного давления, Па

6х10-3

Время откачки рабочего давления, мин

45

Индикация давления в рабочем объеме, Па

от 1,0х10^5 до 1,0х10^-4

Диаметр мишени, мм

42-104

Габариты стойки аналитической, мм

900х610х1620

Габариты стойки электрической, мм

600х600х2160

Масса, кг

420

Похожия продукция

График доставки