Вакуумный прибор для напыления ВНП-350

Вакуумный прибор для напыления ВНП-350
Наличие:
Уточнить у менеджера
Цена:
по запросу

Вакуумный прибор для напыления ВНП-350 предназначен для:

  • напыление плазменно-дуговым способом позволяет наносить однослойные и многослойные покрытия из чистых металлов и их соединений на токопроводящие материалы;
  • напыление магнетронным способом позволяет наносить покрытия на изделия из металла, керамики, фарфора, стекла, пластмассы.

Область применения

  • микроэлектроника, электротехника: процессы металлизации;
  • машиностроение: получение износо- и коррозионностойких покрытий на инструменте, деталях машин и т. п.;
  • промышленность: нанесение декоративных покрытий на металлоизделия, изделия из фарфора, стекла;
  • оптика: нанесение оптических покрытий;
  • медицина: нанесение защитных покрытий на инструменты и зубные протезы.

ВНП-350.01, ВНП-350.02 обеспечивают управления процессом нанесения покрытий в ручном и автоматическом режимах.

ВНП-350.01, ВНП-350.02 состоят из:

  • стойки вакуумной;
  • стойки управления;
  • стойки питания.

Приборы позволяют наносить покрытия на изделия, максимальные размеры которых d=250mm, h=150mm. Откачка рабочего объема производится паромасляным насосом dy 160 (возможно подключение турбомолекулярного насоса).

Система газоподачи обеспечивает поддержание давления в камере на заданном уровне. Система питания магнетрона позволяет стабилизировать ток на заданном уровне.

Технические характеристики

 

ВНП-350.01

ВНП-350.02

Внутренние размеры рабочей камеры, мм

350х350х350

350х350х350

Остаточное давление в рабочей камере, Ра

1,3х10-3

1,3х10-3

Время получения рабочего вакуума (5,6 10-3 Ра), мин, не более

20

20

Количество магнетронов, шт.

3

 

Диаметр мишени, мм

84

 

Количество плазменно-дуговых испарителей, шт.

 

2

Ток дуги, А

 

70 ... 150

Напряжение подложки, В

 

1500

Потребляемая мощность, ВА, не более

 

20

Занимаемая прибором площадь, мм

 

1800х2000

Масса, кг

 

800

Похожия продукция

График доставки